安川机器人撞机了各位有啥招没

现场一台安川MH24,跑的好好的突然撞了一下,看报警是4107碰撞检测异常,机械臂直接卡那不动了。现在手动能摇,但是回原点的时候关节抖动特别厉害,有点吓人。这种情况我先该从哪儿查?是减速机打齿了还是单纯编码器偏了?求老哥们给个排查思路,在线等挺急的。