六轴机器人末端抖动，减速到10%速度还是晃，是哪边的问题？

项目上用的川崎RS020N，六轴，负载20kg，抓取件大概8kg。走的是码垛轨迹，从A点到B点直线过去，末端吸盘抓的东西。结果不管速度设多低，哪怕override压到10%，机器人末端到点之后还会有个来回晃两下的现象，大概3-5mm幅值，像甩了一下才停稳。

查了机械部分，减速机没异响，联轴器没松动，吸盘装得也稳。程序上加速度从100%一路降到30%还是一样。会不会是伺服增益的事？还是说这种结构本身定位精度就到这儿了？有没有调过PID或者加滤波的兄弟说说咋整。